“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統”項目日前順利通過現場驗收，將推動微納電子傳感器的研究。

　　4月7至8日，中國科學院條件保障與財務局組織專家對中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所承擔的中科院科研裝備研制項目“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統”進行了現場驗收。

北京富瑞恒創科技有限公司，成立于2009年8月，成立至今已經和國內多家教育機構，全國各地多家企業有過長期的合作關系，專注于新型材料試驗機的研究，長期聘請清華大學精密儀器系的專家為技術顧問，并成立新型材料檢測儀器研發中心。
    北京富瑞恒創科技有限公司是集專業設計、開發、生產與銷售于一體的高新技術股份制企業，專注于新型材料試驗機的研制、材料檢測技術的提高及材料試驗方法的創新，是國內的材料試驗檢測儀器的生產企業。

富瑞恒創儀器研發部擁有行業內zui的、的研發力量及技術團隊，，并成立新型材料檢測儀器研發中心，是對推動國內材料檢測技術的提高和試驗方法創新的重要技術保證力量。富瑞恒創同時還與中科院自動化研究所、國防科技大學等全國數十所科研院所開展緊密合作，并為中國國fang軍工企業及航天科技企業和重點實驗室定制生產了大量標準和非標準的測試儀器。

　　該項目針對微納電子傳感器件對高靈敏度、高時間/空間分辨率和綜合性的在線檢測需求，創新性地研制了原位實時檢測力學、化學、生物和光學等單一或復合量的高靈敏度多功能傳感檢測系統樣機。該系統主要是以自主研制的高精度新型微納電子傳感器陣列和MEMS電容式微納傳感探針為核心，以化/生/光/力微納米傳感器表征測試平臺、集成化分布式I/O模塊的電路和相關自動化控制軟件系統融合組成。該系統的研制成功地通過“化/生/光/力-納米尺度-信息”的學科交叉融合，在材料與器件的納米尺度效應、界面效應等特性表征和微納制造等微納傳感器基礎研究方面取得突破，為微納傳感器件的研究提供理論、設計、表征和制造奠定基礎，并形成了自主知識產權的檢測技術，將成為推動微納電子傳感器研究的重要科研裝備。驗收專家組聽取了項目工作匯報、財務報告、用戶報告及測試報告，現場查驗了研制裝備的運行情況，審閱了相關文件檔案及財務賬目。通過質詢討論，專家組一致認為該項目較好地完成了研制任務，主要技術指標達到或優于實施方案規定指標。并在此研制設備的支撐下取得了優異的科研成果，在《*材料》等期刊發表了8篇SCI論文，申請了12項，相關獲得許可轉讓。專家組一致同意“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統”研制項目通過驗收。